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              瑞士萬通離子色譜應用一芯中有我--電子級HF

              發布時間:2021-01-25   點擊次數:403次

                     中美貿易戰的大背景下還存在過一場日韓貿易戰,大家應該還都有印象,日本對韓禁售電子級HF、氟聚酰亞胺和光刻膠,韓國哀嚎一片。為什么這三類產品對于韓國這么重要呢?

                     別的且不說,電子級HF屬壟斷產品,其純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性影響很大,主要用于半導體、太陽能和液晶顯示器等領域,是這些行業中關鍵的輔助材料之一。其中非常大應用市場是半導體產業,約占電子級HF總消耗量47.3%;其次是太陽能產能,比重22.1%;液晶顯示器產業則占18.3%。半導體和液晶顯示都是韓國的支柱產業,對韓國的重要性不言而喻,因此日本這一招可謂打在韓國的命脈上。因此韓國急忙轉向中國,韓國三星、LG、SK海力士等企業開始頻頻與中國相關企業聯系,據說也簽訂了一些購買協議。

                     目前日韓貿易戰已經告一段落,中美貿易戰卻是愈演愈烈,中興被處罰,華為被全面封鎖,中國人民感覺到了芯片產業的重要性,電子級HF做為半導體制作過程中應用非常多的超凈高純試劑之一,質量必須得到保證。

                     目前國內現行關于HF的標準只有GB/T 31369-2015《太陽電池用電子級HF》,不過團體標準《電子工業用高HF》和《電子工業用高HF中痕量陰離子含量的測定  離子色譜法》已經完成了意見征集,以上標準中均采用離子色譜來檢測HF中的痕量陰離子,離子色譜在保證電子級HF質量方面具有不可或缺的作用。

                        瑞士萬通離子色譜堅實耐用,整機由瑞士進口,取得“Swiss made”標識的使用資格(至少60%成本在瑞士,賦予產品基本特征的階段也必須在瑞士進行),十分適合HF中陰離子的檢測。

               

                     離子色譜法直接分析HF中的痕量陰離子難度較大,高倍稀釋雖然能降低高含量的F-的干擾,但大大降低了待測陰離子的靈敏度。二維離子色譜法為此類樣品提供了解決方法。HF其實為一種弱酸,它可以在離子排斥柱上保留,因此可利用這一特性,樣品在離子排斥柱上預分離,強酸如HCl、HNO3、H2SO4等在排斥柱上不保留,通過閥切換技術,進入第二套陰離子分析系統分析。

               

              使用Metrosep Organic Acid做為離子排斥分離柱,淋洗液為超純水,進樣體積250μL,流速0.5mL/min,進行預分離;Metrosep A Supp 10-250做為陰離子分離柱,淋洗液: 5.0mM Na2CO3+5.0mM NaHCO3 ; 流速1.0mL/min,柱溫50℃,進行陰離子分析。

               

              除電子級HF外,其它高純試劑如電子級硝酸、電子級磷酸、電子級過氧化氫等原料中痕量陰離子的檢測,瑞士萬通均可提供完善的解決方案。

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